三人已经预习过了,但依旧听的很认真,尤其是操作规范和安全问题。
天不天才的,化学溶剂也是入口即化,生命安全扛不住,钱包安全也扛不住。
千里之行,始于足下,神龟虽寿,脖子还长。
天才们有远大的目标,但也明白饭要一口一口吃,再强的天赋和灵感,也要从设备操作学起。
如果将他们未来的工作拆分开来,大概就是于“衬底”之上,通过化学气相法生成外延膜,再通过光刻构筑需要的结构和功能区,切割应用在需要的“功率器件”上。
最后就是制作电机原型机了。
中间还有许多步骤,什么钝化、溅射刻蚀、栅极结构制作、控制掺杂浓度等就不说了。
翻译成人话:介是标准的高科技!
目前是第一步。
陶哲理一步步解释道:“只有酸洗和超声波清洗需要用手,剩下的都是自动化的,通过电脑控制,期间最重要的就是预设缓冲层和漂移层参数”
大概讲了足足一个小时,确认所有问题都明晰之后,陶哲理从一旁的柜子里拿出了一个单独的底片,视觉上和翟达他们的没太大区别,只是颜色更深一些。
“今天只是熟悉一下罢了,帮你们省点,这是我们之前做废了的衬底,但其实两面都能用。”
从实用性上说,两面都外延没意义,因为切割的时候就都乱了,但练习和演示没问题。
翟达道:“对了学长,这台设备是哪个国家的?”
“东京电子TEL,日本的,维护贵的要死。去年坏了一次,维修的人得从日本飞来,而且不允许我们看,要清场修理。”
孙婷疑惑道:“花这么多钱买的设备坏了保修不是应该的么,还不让看?”
陶哲理无奈的笑了笑:“大部分进口设备都是这样的?听过那个故事么?进口设备维修要美国人坐飞机来,实际上就是换个橡胶垫圈,但不让看,垫圈的位置也不让拆,修理费几十万美金,这都是真事儿。”
陶哲理挺健谈的,一边操作一边道:“我以前也觉得这是‘知识产权’的问题,现在发现根本不是这回事儿,有知识产权你可以注册专利啊,用这种小手段,无非就是严防死守别人技术进步,并且增加依赖性,顺便再多挣一笔。”
“包括这台设备也是,里面大概三分之一的地方都不允许拆卸,做成了黑箱。”
翟达啧啧一声。
当天,他们进行了两次操作,主要是熟悉外延工序和各项参数,翟达三人上手的较少,陶哲理操作居多。
带的衬底没用上,都是陶哲理提供的废片,翟达对他感官不错,还问了问对方在哪个实验室。
碳化硅项目不可能一直是他们四个,团队扩大是必然的,他觉得陶哲理很优秀。
结果关于“在哪个实验室”、“正在研究什么方向”的问题,陶哲理的回答是:
“抱歉。这个真不能说”