故而选择相对经济实惠的湿法氧化。
当准备开始氧化时,才知道当初有多愚蠢,居然选择了真空炉。
当初只考虑了无尘效果,但是没有考虑氧化过程。
所以,最后的氧化炉抽真空功能成了摆设。
好在密封性好,可以作为氧化舱。
接下来便是开始摸索氧化工艺。
第一片晶圆氧化层太厚,不利于后期工序,第二片晶圆氧化层太薄。
直到第8片,才找到了最佳工艺。
固化工艺后,让黄燕验证一遍后,得到符合要求的晶圆。
至此,单晶棒制备、切割、抛光、氧化四大主要工艺流程已经固化。
重新修订设计图纸、设计文件、工艺流程,整理成册。
到此,就可以向用户提供高质量的晶圆,也可以转让技术。
中途,王主任带着他去了两次老丈人家。
过程较为顺利,不仅没有为难,还有一种赶快领走的感觉。
彩礼只有象征意义的10块钱,其他三转一响,就差一响。
收音机,对于现在的李元,已经不是事。
王主任只要了20颗鸡蛋,其他的一概不收,倒是让李元感觉不好意思。
忙忙叨叨1个月过去了,二人私下只见过几面。
可惜,小姑娘是个保守的人,最多就是到公园转转。
每次说到到家里坐坐,她都是坚决不去。
这一天,上级通知下周一领导视察。
李元也不能免俗,通知变电站和地下实验室搞好卫生。
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至于维修厂这边,一切安静,每天接一些拖拉机、电机的维修,其他的工作很少。